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X射線衍射儀XRD是利用X射線在晶體物質中的衍射效應進行物質結構分析的技術。每一種結晶物質，都有其特定的晶體結構，包括點陣類型、晶面間距等參數，用具有足夠能量的X射線照射試樣，試樣中的物質受激發，會產生二次熒光X射線（標識X射線），晶體的晶面反射遵循布拉格定律。通過測定衍射角位置（峰位）可以進行化合物的定性分析，測定譜線的積分強度（峰強度）可以進行定量分析，而測定譜線強度隨角度的變化關系可進行晶粒的大小和形狀的檢測。X射線同無線電波、可見光、紫外線等一樣，本質上都屬于電磁波，...

掃描電鏡主要由電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統七大系統組成而成。利用掃描電鏡分析樣品時，首先要排除外界的干擾去除假象，盡量減少這些不利因素的影響，使分析結果更準確。制樣時產生的影響因素分析：1.樣品制備樣品的制備是能否得到重要信息的關鍵，若使用不正確的制樣程序，不僅會得不到清晰的圖像，而且有可能得到假象，即觀察到的圖像并不是真正的樣品內部狀態或主要成分，所以試樣制備方法的選擇對于熱加工、熱處理等工藝問題或后續加...

掃描電鏡是一個復雜的系統，濃縮了電子光學技術、真空技術、精細機械結構以及現代計算機控制技術。掃描電鏡的基本工作過程用電子束在樣品表面掃描，同時陰極射線管內的電子束與樣品表面的電子束同步掃描，將電子束在樣品上激發的各種信號用探測器接收，并用它來調制顯像管中掃描電子束的強度，在陰極射線管的屏幕上就得到了相應襯度的掃描電子顯微像。電子束在樣品表面掃描，與樣品發生各種不同的相互作用，產生不同信號，獲得的相應的顯微像的意義也不一樣。這些信息的二維強度分布隨試樣表面的特征而變（這些特征有...

掃描電鏡存在于我們的生活中，我們需要對它進一步地了解，以便更好地利用它為人類創造價值。我們來看看掃描電鏡的幾大組成系統吧！1.真空系統真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢槍的SEM的真空要求，但對于裝置了場致發射槍或六硼化鑭槍的SEM，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成像系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的密封室，用于放...

掃描電子顯微鏡（SEM）是1965年發明的較現代的細胞生物學研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。掃描電鏡的優點是，①有較高的放大倍...

從理論上講，只考慮電子束斑直徑的話，加速電壓越高電子束斑的直徑越細。但是，使用高加速電壓時產生的不利因素也不可忽視。這主要表現在以下幾個方面：1）樣品表面的微細結構不能清晰顯露；2）邊緣效應明顯；3）容易積累電荷；4）容易損傷樣品。一般情況下，使用低加速電壓，能夠更好地觀察表面的微細結構。使用高加速電壓，電子束在樣品中的擴散區域增大，從樣品內部產生的不必要的信號（如背散射電子）會掩蓋樣品表面的微結構。特別是在觀察密度低的物質時，以低加速電壓為好。圖1入射電子的擴展（根據Dun...

光學平臺，光學隔震平臺，氣浮隔震平臺具有先進得隔振性能。光學平臺具有平整的表面，內部采用蜂窩狀的設計以獲得大的剛度，另外內部的阻尼機制大限度地減少了振動對光學平臺表面的影響。剛性，被動式和主動式光學平臺能很好地把桌面從地面的振動隔離出來。隨著先進的設備和工藝的發展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域，已生產出線寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準確率小于50納米的精度要求。這樣的應用對系統中不同元件相關...